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激光定位高精密工件台

2018-08-16 842 字号

主要技术指标: 
★ X、Y导轨运动直线性: 
 水平≤2.5″、垂直≤3″ 
★ 工件台面垂直跳动≤±2.5μm; 
★ X、Y向机械导向正交性≤2″; 
★ 工件台行程:150×150mm; 
★ 工件台最高移动速度:20mm/Sec; 
★ 测量分辨率:0.6nm(λ/1024); 
★ 工作室真空度:1.33×10-4Pa。 
联系人:胡主任、唐主任 
电话:85101784、85100564
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