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激光定位高精密工件台
2018-08-16
1571
字号
主要技术指标:
★ X、Y导轨运动直线性:
水平≤2.5″、垂直≤3″
★ 工件台面垂直跳动≤±2.5μm;
★ X、Y向机械导向正交性≤2″;
★ 工件台行程:150×150mm;
★ 工件台最高移动速度:20mm/Sec;
★ 测量分辨率:0.6nm(λ/1024);
★ 工作室真空度:1.33×10
-4
Pa
。
联系人:胡主任、唐主任
电话:85101784、85100564
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